微电子技术和计算机科学技术对仪器仪表的巨大促进作用是无可置疑的。新器件的问世、ASIC电路(Application Specific Integrated Circuits)的兴起;80年代起，圆片规模集电路WSI ( Wafer ScaleIntegration)的发展，在整个硅大圆片的规模上集成一个完整的电子系统或子系统成为现实;三维集成技术又使芯片上的电路元件呈立体布局;表面封装技术(SMTSurface Mounting Technology)使电子元器件成为一个无引线或短引线，大小仅有几毫米的微型元件;DSP芯片、神经网络芯片的问世和飞速发展使进30年来已充分发展的各种信号处理算法; (时域平均、相关分析、数字滤波、平滑技术、频谱计算等)在仪器设计中得到充分的应用;加上进10多年来对微机械技术(MEMS)的致力研究，使集合微执行器、微驱动器、微能源以及微传感器和控制电路、信号处理装置等于一体的微型机电系统、微仪器成为可等于一体的微型机电系统、微仪器成为可能。

　　凡此种种，都使仪器仪表不仅在精度方面有了极大的提高，而且在小型化、微型化方面有了很大的发展。至今，掌上式频率计数器和频谱分析仪等已面市，手提式血液分析系统已可取代一套大型生化仪器;手提式微金属探测仪可方便地监测水质…等等。通常，用于元素分析的质谱仪是一台大型设备，它应具有真空、电离、探测等许多部分，目前已做得如台式计算机般大小，并已着手向手提式方向发展。凡此种种，已显现出微型仪器的发展趋势。