振动分析是一个非常广泛而复杂的领域，它利用了测试和诊断学科的多个方面，从状态监视到缺陷检测。传感器技术的改进现在也允许在微型/中型世界中使用振动分析方法。非接触式高速(宽带)激光传感器(通常为位移传感器)可以克服加速度计所表现出的传统限制，因此可以执行高精度和局部化的分析。

　　振动分析方法可以细分为四个主要领域：

　　•时域

　　•频域

　　•联合域(时/频域)

　　•模态分析

　　每个域都提供有关振动部分的工作条件和功能的特定信息。

　　通常情况下，时域分析是专门于检测到所述测试部件的整体性能：峰值，平均值，根均方(RMS)，振动振幅的包络值。将这些值与阈值进行比较，以检测异常性能或潜在缺陷。

　　当通过傅立叶变换计算(或快速傅立叶变换 – FFT)将被测信号分解为一系列频率分量(频谱)时，频域能够提供更多信息。对不同频率分量的局部分析允许将签名与处理后的信号相关联，从而可以通过其自己的签名来精确识别被测部件(签名分析)。由于信号的时变特性，可以发现在时间观察窗口上计算许多频谱很有用。为此，可以非常有效地使用联合时间/频率技术(Gabor-Wigner-Wavelet)。在时间/频率分析的特定情况下，频谱与转速相关 这样就可以对被测设备进行“阶次分析”(阶次分析)，从而可以分析由随速度变化的频率分量表示的单个阶次。

　　模态分析允许研究结构在振动激励下的动力特性。该技术使用FFT来执行传递函数，该传递函数显示一个或多个谐振，通过该传递函数可以估算被测零件的特征质量，阻尼，刚度和其他特性。使用激光干涉仪和合适的软件工具，可以将非接触式振动分析应用于MEMS的测试和测量(微机电系统)和MOEMS(微机电系统)动力学和地形。